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1、總則

《潔凈廠房設計規范》GB 50073-2013，經住房和城鄉建設部2013年1月28日以第1627號公告批準發布。本規范是在《潔凈廠房設計規范》GB 50073-2001的基礎上修訂而成，上一版的主編單位是中國電子工程設計院，參編單位是信息產業部第十一設計研究院、中國石油化工集團上海醫藥工業設計院、中國建筑科學研究院，主要起草人

3、空氣潔凈度等級

3.0.1 本規范修訂過程中，涉及潔凈技術的各有關單位、科技人員和專家們都強烈希望“規范應與國際接軌”，為此，本規范修訂中將空氣潔凈度等級等效采用國際標準《潔凈室及相關被控環境——第一部分，空氣潔凈度的分級》IS0 14644-1，在該標準中列出的空氣潔凈度整數等級(表3.0.1)及其關注的大于或等于要求粒徑的允許濃度

4、總體設計

4.1.1 潔凈廠房與其他工業廠房的區別在于潔凈廠房內的生產工藝有空氣潔凈度要求。因此，設有潔凈廠房的工廠廠址宜選在大氣含塵濃度較低的地區，如農村、城市遠郊、水域之濱等，不宜選擇在氣候干旱、多風沙地區或有嚴重空氣污染的城市工業區。根據國內外測試資料，農村空氣污染程度較低，其含塵濃度一般只相當

5、建筑

5．1．1 潔凈廠房的建筑平面和空間布局應具有適當的靈活性，為生產工藝的調整創造條件。本條規定是指在不增加面積、高度的情況下，進行局部的工藝和生產設備調整，在這種情況下，廠房內墻的可變性就是一個重要的措施，為此，本條規定不宜采用內墻承重體系。5．1．3 主體結構要具備同建筑處理及其室內裝備和裝修水平相適應的

6、空氣凈化

6.1.1 潔凈的生產環境是生產工藝的需要，是確保產品的成品率和產品質量的可靠性、長壽命所必需的。隨著我國國民經濟的發展，各行各業對生產環境的溫度、相對濕度和潔凈度的要求也越來越高。例如：大規模和超大規模集成電路的發展很快，在1980年時其集成度只有64kB，而到目前集成度已提高到1GB;64kB集成電路前工序

7、給水排水

7.1.1 潔凈廠房內管道的敷設方式直接影響潔凈室的空氣潔凈度，因此，條文中首先要求管道盡量在潔凈室外敷設，以最大限度地減少潔凈室內的管道。目前，潔凈廠房的管道布置形式有：(1) 各種干管布置在技術夾層、技術夾道、技術豎井內。特別是有上、下夾層的潔凈廠房，給水排水干管大都設在下夾層內。(2) 暗裝立管

8、工業管道

8.1.1、8.1.2 本次修訂的理由是：(1) 由于現有潔凈廠房內，除給排水管道外的工業管道還包括各類氣體輸送、液體輸送和真空管道等，所以將本章擴大更名為“工業管道”。據了解，目前潔凈廠房內的工業管道干管、支干管均基本敷設在上、下技術夾層、技術夾道或特殊的管廊內，這種方式既可滿足潔凈室(區)生產工藝的

9、電氣

9.1.1 潔凈廠房內有較多的電子設備系單相負荷，存在不平衡電流。而且環境中有熒光燈、晶體管、數據處理以及其他非線性負荷存在，配電線路中存在高次諧波電流，致使中性線上流有較大的電流。而TN-S或TN-C-S接地系統中有專用不帶電的保護接地線(PE)，因此安全性好。9.1.2 在潔凈廠房中，工藝設備用電的負

附錄A 潔凈室或潔凈區性能測試和認證

附錄A 潔凈室或潔凈區性能測試和認證A.1 通則本附錄編寫的指導思想是與國際接軌，依據國際標準《潔凈室及相關受控環境》ISO 14644、《生物污染控制》ISO 14698等的內容進行編制。A.1.1 潔凈室或潔凈區在設計、施工驗收后，應進行綜合性能評價。潔凈室交付使用后，由于潔凈室維護管理不當，潔凈室工作人員誤

前言

前言中華人民共和國國家標準潔凈廠房設計規范Code for design of clean roomGB 50073-2013主編部門：中華人民共和國工業和信息化部批準部門：中華人民共和國住房和城鄉建設部施行日期：2013年9月1日中華人民共和國住房和城鄉建設部公告第1627號住房城鄉建設部關于發布國家標準